热式气体质量流量计是基于热扩散原理的流量仪表。即是利用流体流过发热物体时，发热物体的热量散失多少与流体的流量成一定的比例关系。具体来说，该流量计的传感器有两只标准级的RTD，一只用来做热源，一只用来测量流体温度，流体流过的，两者之间的温度差与流量的大小成非线性关系，该仪表就可以把这种关系转换为测量流量信号的线性输出。
热式气体质量流量计利用热扩散原理制造的流量计有两种设计方法：一是：基于恒温差原理；二是基于恒功率原理。基于共同的数据模型：P/△T=A+B(Q)^N.其中：P—耗散功率，△T—两个传感器之间的温差，Q—质量流量，N—指数系数，A、B是与气体的热性能有关的系数。
恒温差原理：△T保持不变，耗散功率P与流体的流量Q成指数函数递增的关系。
热式气体质量流量计的参数指标
测量范围：0.5～100Nm/s 常用流速范围0.5～80Nm/s
准确度（FS)：±1.0%的读数、±0.5%满量程
量程比：通常100：1（取决于标定流量的范围）。
管径范围：15～8000mm 法兰式插入式两种安装方式
热式气体质量流量计应用范围：适合各类单一或混合气体。含尘、含沙等，各种腐蚀性气体
环境温度范围：-40℃～+85℃（无显示），-30℃～+70℃（有显示），湿度＜90%RH
介质温度范围：-40℃～+100℃，-40℃～+200℃，-40℃～+350℃
传感器直径：φ2.5、φ3、φ4
插入式传感器探杆直径：φ19、φ25
传感器材质：316不锈钢、哈氏合金、钛
探杆材质（保护套）：316G不锈钢（标准）、哈氏合金
双向测量介质流量
模拟量输出，累积脉冲量输出
流量：4-20mADC输出，温度：4-20mADC，最大负载：500Ω
供电电源：一体机DC24V/AC220V，分体转换器DC24V/AC220V
工作压力：插入式≤2.5mpa,管道式≤4.0mpa
热式气体质量流量计安装工艺形式：插入式（卡套、卡套+球阀、法兰连接），管道式（法兰，螺纹连接）
防爆等级：Exd IIC T6 Gb
防护等级：IP65